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专利名称: 利用蒸镀法在光阻掩膜衬底上制备超导钛薄膜的方法
申请号: 201710405813.2
申请日期: 2017-5-31
第一发明人: 王争
其它发明人: 王争; 张文; 缪巍; 史生才